尤晖
单位：中科院合肥智能机械研究所
地址：安徽省合肥市西郊科学岛1130号信箱
邮编：230031
电话：0551-65591115
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个人简历Personalresume
尤晖，男，1968年生，研究员、博士生导师，中国科学院“百人计划”学者。1999年毕业于中国科学技术大学精密仪器与机械专业，获得博士学位。同年，赴日本立命馆大学担任博士后，从事生物芯片和LIGA工艺研究。2001年转赴英国，在赫特福德郡大学从事基于硅-塑料复合工艺的微流体器件研究。2002-2004年在剑桥大学担任博士后，从事微流体技术在生物医学的应用研究。2004年在英国纽卡斯尔大学纳米技术研究所获得永久职位,负责该所的设计仿真研究和教学工作，并从事MEMS和微流体系统的商业和国防应用研究。2008年转任英国集成技术研究所高级研究员(永久职位)，负责微流体技术及其在声化学方面应用研究并带研究生。2010年底，回国加入中科院合肥物质研究院智能所，并任中国科技大学和中国科学院大学（原中科院研究生院）博士生导师，入选中科院“百人计划”。回国后，在智能所建立超声微流体实验室，继续从事MEMS和微流体技术研究，承担了多项研究课题，包括国家自然科学基金、科技部科技支持项目、国家重点实验室仪器专项、中科院战略性先导科技专项（A类）、安徽省科技攻关重点项目等。主要研究方向：微流体技术及其在生物医学及农业上的应用、MEMS超声波器件、MEMS仿真设计含固-液-声耦合仿真、微传感器，微致动器、微加工工艺、微纳制造工艺兼容性等。

研究方向Researchdirection
1、微流控技术与生物芯片
2、MEMS（微电子机械系统）